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SANMEI CA100 High precision UVW stage alignment system

商品名 : SANMEI CA100 High precision UVW stage alignment system

商品コード : OP-SA01

価格 : 198,000円（税込）

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商品コード：OP-SA01
商品名：SANMEI CA100 高精度 ＵＶＷステージ アライメント システム 中古品
価格(税込)：￥198,000

商品説明
メーカー：三明電子産業株式会社  
型名：CA100 
特性：ステージ:ヒーハイスト精工�蠕� NAF3C−16P
ステージ寸法: 170×170ｍｍ
ストローク: Ｘ，Ｙ＝±3ｍｍ  θ＝±3°
繰り返し位置決め精度: Ｘ軸:±0.12μｍ(測定値): Ｙ軸:±0.14μｍ(測定値)
最少移動量(ステップ送り):100nm
最少回転角(ステップ送り):・2/1000° (7.2 秒)
電源:AC100V
メーカーサイト：http://www.sanmei-ele.co.jp/
動作確認：JOG運転にて各ステージの動作確認を行いました。
https://youtu.be/FKBktQm2XHI
状態：★★★★☆　小キズあり、ケーブル一部色違いあり

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