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ULVAC DOP-40D Swing piston type dry vacuum pump
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HORIBA D517MG Mass flow controller
HORIBA D527MG Mass flow controller
SMC VX210HA/IZE110-X238 Direct acting 2-port solenoid valve / intermittent control timer
KEYENCE AP-53A Environmentally resistant small pressure sensor
ULVAC GHD-030 Oil rotary vacuum pump
